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湖北興福電子近日以4626.78萬(wàn)元收購(gòu)湖北三峽實(shí)驗(yàn)室重大科技成果“光刻膠用光引發(fā)劑制備專(zhuān)有技術(shù)及實(shí)驗(yàn)設(shè)備所有權(quán)”。這項(xiàng)半導(dǎo)體領(lǐng)域技術(shù)走向市場(chǎng)后，將打破該材料長(zhǎng)期被境外企業(yè)壟斷的局面。
湖北三峽實(shí)驗(yàn)室光引發(fā)劑項(xiàng)目研發(fā)負(fù)責(zé)人介紹，此次轉(zhuǎn)讓的成果G/I線(xiàn)光刻膠用光引發(fā)劑的關(guān)鍵技術(shù)，主要用于芯片和顯示領(lǐng)域。
芯片制造需要幾百種設(shè)備和材料，其中對(duì)光刻膠的感光度和分辨率起決定性作用的，就是光引發(fā)劑?！澳壳?，在國(guó)產(chǎn)芯片和顯示領(lǐng)域，光刻膠用光引發(fā)劑幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口?！痹撠?fù)責(zé)人表示。
“這是一次市場(chǎng)需求倒逼的研發(fā)創(chuàng)新，企業(yè)出題，實(shí)驗(yàn)室答題?！焙比龒{實(shí)驗(yàn)室主任池汝安透露，微電子新材料是三峽實(shí)驗(yàn)室的研究方向之一，近年來(lái)，許多半導(dǎo)體客戶(hù)表示，因光引發(fā)劑遭遇限購(gòu)和斷供，給國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的生產(chǎn)帶來(lái)極大壓力。
興福電子希望切入光引發(fā)劑產(chǎn)業(yè)賽道，提出研發(fā)需求意向后，三峽實(shí)驗(yàn)室當(dāng)即決定開(kāi)展光引發(fā)劑關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān)。
在歷經(jīng)三年研發(fā)攻堅(jiān)后，2025年5月，上海一家光刻膠龍頭企業(yè)回復(fù)三峽實(shí)驗(yàn)室：“送樣各項(xiàng)指標(biāo)與國(guó)外進(jìn)口廠商達(dá)到同一水平?！彪S后，中試樣品在多家光刻膠企業(yè)都通過(guò)了初輪驗(yàn)證，相關(guān)技術(shù)終于具備產(chǎn)業(yè)化條件。
池汝安介紹，該成果已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化前期階段，投產(chǎn)后將成為湖北第一條光刻膠用光引發(fā)劑生產(chǎn)線(xiàn)，對(duì)我國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展將起到積極作用。
